归类预裁定R-2-2200-2026-0299
真空传输模块
归类编码（税则号列）
8486.4039
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
- 类型
- 归类预裁定
- 编号
- R-2-2200-2026-0299
- 发布单位
- 上海海关
- 发布日期
- 未注明
- 英文名称
- Vacuum Transfer Module(VTM)
- 其他名称
- 真空晶圆传输腔
商品描述
一.结构原理：1.真空腔体2.真空传输机械手3.加载互锁腔室（Load Lock）4.工艺腔室接口（Process Chamber Interface）5.采用PC+PLC架构6.检测传感器系统二.性能指标：1.吞吐量：80片/小时2.机械手重复定位精度：±0.1mm三.功能：1.晶圆装载2.抽真空3.晶圆传输4.工艺处理5.晶圆取出6.恢复大气四.设计应用场景（一）主要应用领域：1.刻蚀工艺2.薄膜沉积工艺3.离子注入工艺4.外延工艺（二）设备布局场景：1.集簇式布局2.多腔室互联五.前端模块集成加工方法：该设备采用精密机械加工制造框架，在洁净室环境中完成整机集成（机械手控制单元）的集成与装配，并进行整机运动轨迹调试与吞吐量测试六：分析方法：依据SEMI标准进行安全性测试；连续运行测试，记录单位时间传输晶圆数量七.用途：展览展示。
归类意见
海关公开的预裁定信息只列商品描述与编码，不含归类理由。
8486.4039 在现行税则中
2026 年税则
- 第 84 章核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件
- 84.86专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释十一（三）规定的机器及装置；零件及附件
- 8486.4本章注释十一（三）规定的机器及装置
- 8486.403主要用于或专用于升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的装置
- 8486.4039其他
| 商品编码 | 商品名称 | 最惠国税率 | 普通税率 |
|---|---|---|---|
| 8486403900 | 其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备 | 0% | 30% |
申报要素规范申报要素 · 8486.4
- 1.用途
- 2.功能
- 3.品牌（中文或外文名称）
- 4.型号
以上为 2026 年税则中 8486.4039 的情况。裁定作出后税则可能已有调整，税率与申报要素以海关最新公布为准。