归类预裁定R-2-2200-2026-0298
设备前端模块
归类编码（税则号列）
8486.4039
其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备
- 类型
- 归类预裁定
- 编号
- R-2-2200-2026-0298
- 发布单位
- 上海海关
- 发布日期
- 未注明
- 英文名称
- Equipment Front End Module(EFEM)
- 其他名称
- 半导体晶圆传输系统
商品描述
一.型号：GE02-312-FU01二.结构原理：1.框架钣金2.晶圆装载端口3.晶圆传输机械手4.风扇过滤单元（FFU）5.控制系统三.性能指标：1.吞吐量：200片/小时2.机械手重复定位精度：±0.1mm四.功能：1.晶圆盒对接与装载2.晶圆检测3.晶圆识别4.晶圆取出与传输5.送入VTM6.晶圆回收五.设计应用场景;(一）主要应用领域1.刻蚀工艺2.薄膜沉积工艺3.化学机械抛光4.检测与量测5.清洗设备6.离子注入（二）设备布局场景1.单机台前端集成2.多端口配置3.工厂自动化集成4.多尺寸兼容六.加工方法：该设备采用精密机械加工制造框架，在洁净室环境中完成机电组件（机械手、对准器、FFU、PLC）的集成与装配，并进行整机洁净度测试与吞吐量调试七.分析方法：依据SEMI标准进行安全性测试八用途：展览展示
归类意见
海关公开的预裁定信息只列商品描述与编码，不含归类理由。
8486.4039 在现行税则中
2026 年税则
- 第 84 章核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件
- 84.86专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释十一（三）规定的机器及装置；零件及附件
- 8486.4本章注释十一（三）规定的机器及装置
- 8486.403主要用于或专用于升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的装置
- 8486.4039其他
| 商品编码 | 商品名称 | 最惠国税率 | 普通税率 |
|---|---|---|---|
| 8486403900 | 其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备 | 0% | 30% |
申报要素规范申报要素 · 8486.4
- 1.用途
- 2.功能
- 3.品牌（中文或外文名称）
- 4.型号
以上为 2026 年税则中 8486.4039 的情况。裁定作出后税则可能已有调整，税率与申报要素以海关最新公布为准。