显影机

此次进口的显影机，型号：EDC-650Hzb-23NPPB，是标准产品整机，台式设备，不带外面的显影机台，最大处理的样片是15cm。功能：待晶圆经过光刻和去膜工艺后，对晶圆进行显影曝光处理。用途：适用于制造半导体、晶圆片及器件的制版等表面处理工艺。原理: 在高速旋转的基板上，滴注半导体溶液，利用离心力，使溶液均匀地喷淋在基板上，对基底上面的光刻胶液体进行显影，刻蚀，剥离去除残胶。结构组成: 包括处理腔，数码控制器，非真空托盘，试剂管路，废液管路，安全VOD顶盖及防腐装置。此产品是小型半导体专用设备，专用于半导体制造工艺流程里的显影部分；单片显影工艺，在研发企业、科研机构使用。外包装为纸箱。

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