归类决定W2014-269
湿式洗涤站/沾湿台
归类编码（品目）
84.86
专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释十一（三）规定的机器及装置；零件及附件
- 类型
- 归类决定
- 编号
- W2014-269
- 发布单位
- 海关总署
- 发布日期
- 未注明
- 英文名称
- Wet Stations
商品描述
湿式洗涤站/沾湿台，通过将硅晶片按特定时间浸泡在含有化学品和/或去离子水的多种洗槽中，用以清洁和蚀刻硅晶片表面并去除不必要的外来物质。它们包括接口部件、化学(浸泡)槽、水洗槽、烘干和输送组件等各种模块。其数目、顺序和组合取决于每种模式的目的和工序。
归类意见
归类依据:归类总规则一及六；子目号:84.86。
84.86 在现行税则中
2026 年税则
- 第 84 章核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件
- 84.86专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释十一（三）规定的机器及装置；零件及附件
| 商品编码 | 商品名称 | 最惠国税率 | 普通税率 |
|---|---|---|---|
| 8486101000 | 利用温度变化处理单晶硅的机器及装置 | 0% | 30% |
| 8486102000 | 制造单晶柱或晶圆用的研磨设备 | 0% | 30% |
| 8486103000 | 制造单晶柱或晶圆用的切割设备 | 0% | 30% |
| 8486104000 | 制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备(CMP) | 0% | 30% |
| 8486109000 | 其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置 | 0% | 30% |
| 8486201000 | 氧化、扩散、退火及其他热处理设备 | 0% | 30% |
| 8486202100 | 制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 | 0% | 30% |
| 8486202200 | 制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 | 0% | 30% |
| 8486202900 | 其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备 | 0% | 30% |
| 8486203110 | 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（后道用） | 0% | 100% |
| 8486203120 | 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用 I 线光刻机） | 0% | 100% |
| 8486203130 | 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用氟化氪（ KrF ）光刻机） | 0% | 100% |
| 8486203190 | 其他制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机 | 0% | 100% |
| 8486203910 | 制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机（步进式除外） | 0% | 100% |
| 8486203920 | 制造半导体器件或集成电路用的氟化氪（ KrF ）光刻机（步进式除外） | 0% | 100% |
| 8486203930 | 制造半导体器件或集成电路用的氟化氩（ ArF ）光刻机（步进式除外） | 0% | 100% |
| 8486203940 | 制造半导体器件或集成电路用的氟化氩浸没式（ ArFi ）光刻机（步进式除外） | 0% | 100% |
| 8486203950 | 制造半导体器件或集成电路用的极紫外（ EUV ）光刻机（步进式除外） | 0% | 100% |
| 8486203990 | 未列名制造半导体器件或集成电路用的光刻设备 | 0% | 100% |
| 8486204100 | 制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 | 0% | 30% |
| 8486204900 | 其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 | 0% | 30% |
| 8486205000 | 制造半导体器件或集成电路用离子注入机 | 0% | 11% |
| 8486209000 | 其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 | 0% | 30% |
| 8486301000 | 制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 | 0% | 30% |
| 8486302100 | 制造平板显示器用化学气相沉积装置(CVD) | 0% | 30% |
| 8486302200 | 制造平板显示器用物理气相沉积装置(PVD) | 0% | 30% |
| 8486302900 | 其他制造平板显示器用薄膜沉积设备 | 0% | 30% |
| 8486303100 | 制造平板显示器用分步重复光刻机 | 0% | 100% |
| 8486303900 | 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 | 0% | 100% |
| 8486304100 | 制造平板显示器用超声波清洗装置 | 0% | 30% |
| 8486304900 | 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 | 0% | 30% |
| 8486309000 | 其他制造平板显示器用的机器及装置 | 0% | 30% |
| 8486401000 | 主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置 | 0% | 70% |
| 8486402100 | 塑封机 | 0% | 30% |
| 8486402200 | 引线键合装置 | 0% | 30% |
| 8486402900 | 其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备 | 0% | 17% |
| 8486403100 | IC工厂专用的自动搬运机器人 | 0% | 20% |
| 8486403900 | 其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备 | 0% | 30% |
| 8486901000 | 升降、搬运、装卸机器用零件或附件 | 0% | 30% |
| 8486902000 | 引线键合装置用零件或附件 | 0% | 30% |
| 8486909110 | 两用物项管制的带背板的溅射靶材组件 | 0% | 17% |
| 8486909190 | 其他的带背板的溅射靶材组件 | 0% | 17% |
| 8486909910 | 制造半导体器件或集成电路用光刻设备用零件及附件 | 0% | 17% |
| 8486909990 | 其他品目84.86所列设备用零件及附件 | 0% | 17% |
以上为 2026 年税则中 84.86 的情况。裁定作出后税则可能已有调整，税率与申报要素以海关最新公布为准。