气体柜

结构组成：超洁净管道、过滤器、减压阀、压力传感器、气控控制阀、气体流量自动控制器等；用途：用于集成电路生产工艺中，实现气体的稳定供应；功能：通过另外购买的设备机台上的控制器对气体柜发出信号，使气体柜按照既定程序运行，通过过滤器、减压阀、压力传感器、气控控制阀、气体流量自动控制实时调节和稳定供应生产制程中所需的气体；原理：1、 气体钢瓶被手动连接到气瓶柜的预留钢瓶接头（气瓶柜本体不带钢瓶）； 2、依照另外购买的设备机台上的控制器对气体柜发出信号的预设程序与参数运行，通过开启和关闭控制阀，控制外部氮气的通入和关闭，执行管道自动循环吹扫流程； 3、依照另外购买的设备机台上的控制器对气体柜发出信号的预设程序与参数运行，调压阀收到指令后对供应气体所需的压力进行调压，通过滤器等过滤调节后自动流出，再经过下一道的控制阀进入气体流量自动控制器，经过流量调节后，以适当的压力、流量进入腔体

海关公开的预裁定信息只列商品描述与编码，不含归类理由。