高真空镀膜机

工作原理 ：在规定的真空环镜下，利用电子束蒸发器发射电子束，进行轰击镀膜材料并形成高温，对所需镀膜材料进行分解，使之沉积在基材上，形成一定厚度的膜层，同时对薄膜厚度进行监控；所有过程通过中央控制系统进行控制。用途：在被镀膜工件上进行镀膜。结构组成：1.真空获得部分——真空室及真空泵组，所有配件都要在真空室内组装在一起成完整的设备，真空泵用于提高真空率及缩短达到预先设定真空度的时间，从而提升生产效率。2.工艺成膜部分——电子束蒸发器发射电子束。3.镀层厚度检测装置——通过石英晶振测厚系统和厚度测量用光控进行测厚，精准控制、无需反复调试、膜层测量精度高，可保证产品获得高品质。4.控制部分——光学控制系统及可编程控制器，可以根据客户工艺要求，预先设定镀膜程序，并可随时调整镀膜进程。

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