热丝化学气相沉积设备

HFCVD-30kW 热丝化学气相沉积设备型号及规格：HFCVD-30kW 结构原理：HFCVD技术主要是采用钨丝和钽丝作为热丝材料，在高温下将甲烷和氢气等混合气体解理激发，得到大量反应粒子并经历一系列复杂的化学反应后与基体表面发生化学气相反应，使金刚石生长。设备由以下几大部分组成：1、反应炉腔体系统（包括：炉体、热丝组件、衬底、升降工件台、测温装置等）；2、控制系统（控制柜、触摸显示屏、CP2E可编程控制器、组态软件等）；3、真空系统（真空泵、真空控制阀、真空传感器等）；4、气源系统（气柜、混合器、质量流量计）；5、循环水冷却系统。性能指标：1.腔室尺寸：800 mm×500 mm，主体部分为圆柱体，前侧开门，双层不锈钢水冷结构，观察窗3个，双层水冷，石英玻璃，工作台直径200毫米，并具有自旋转、升降等多种功能，可上下位移10-20mm；2.灯丝面积：270 mm宽×250 mm深；3.有效沉积面积：200 mm×200 mm，采用大面积热丝阵列平行排布间距均匀一致；4.最大功耗：50 KW；5.生长炉可四路供气（H2、CH4、N2、Ar）；6.支撑台（衬底）温度可测、可调（需加水冷系统）；7.采用逆变直流电源加热，电压输出稳定，稳定度优于0.1%，保证沉积表面温度波动小；8.采用先进的机械制造技术和安全可靠的控制系统，其中工件台升降精度0.1mm，工件台旋转无级调速，保证设备长期稳定工作。功能用途：HFCVD化学气相沉积设备是制备金刚石薄膜的最常用方法，它具有设备简单、生长速度快、质量较好、容易扩大面积等优点。HFCVD-30型热丝化学气相沉积设备主要用于CVD金刚石厚膜、CVD金刚石涂层以及其他化学气相沉积薄膜材料的大批量生产。

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