驱动组件

用途：半导体制造设备Applied Materials牌Centris Sym3系列刻蚀机专用，直接安装在刻蚀机的制程腔室内，为抬起（或降下）腔室底盘（piston）提供驱动作用。功能：驱动腔室底盘升降。工作流程：该驱动组件通过精准驱动腔室底盘升（或降），实现底盘与腔室空间的脱离（或贴合），从而使得工艺气体经底盘与腔室底部之间的间隙稳定进入刻蚀机腔体（反之，则阻断气体进入腔体）。结构组成：电机、丝杆、电线、顶杆、顶杆护套、真空波纹管、腔室连接适配口、直线导轨、框架等构成。各结构部件分别所起作用：上部：电机（提供动力用）、丝杆（将旋转动力转换为直线动力）、电线。中部：顶杆（在波纹管和顶杆护套内，直接连接底盘）；顶杆护套（真空隔离--维持顶杆在真空环境下作业）；真空波纹管（1、真空隔离 --维持顶杆在真空环境下稳定作业，阻断大气环境中的空气、水汽等杂质带入刻蚀机腔室，保障腔体真空度与工艺气体纯度；2、精准位移补偿---依托波纹管柔性伸缩特性，无迟滞传导顶杆的升降位移，对位移进行补偿，维持腔室内压力调节的稳定性和准确性，避免因位移导致的气体泄漏、连接松动或瞬间的压力冲击对刻蚀机造成损害，保障刻蚀作业的正常运行）；室连接适配口（直接连接刻蚀腔室）。下部：直线导轨（精准导向定位，保障顶杆升降轨迹无偏差），其他连接部件：框架（固定、连接作用）、当前状态未含固定板（起连接作用--从上往下将（丝杠上旋转的）螺母→顶杆→（直线导轨上的）滑块固定连接为一体，使丝杠、顶杆和直线导轨三者同时平行进行上下直线运动，辅助本品达成最终功能--驱动顶杆抬起（或降下）底盘的功能。

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