气体传输柜

气柜型号 52170048,结构组成：超洁净管路、手动隔膜阀、调压阀、过滤器、止回阀、压力传感器、气动隔膜阀、质量流量控制器、压力开关等。用途：该气柜主要用于半导体工艺设备中超纯气体的传输，同时传输的过程中也可通过控制阀来控制不同气体通断，实现不同气体的精准混合。功能:通过设备机台上的控制器对气体柜发出预设程序与参数，来控制气柜按照预设要求，通过过滤器、减压阀、压力传感器、气动隔膜阀、质量流量控制器等，以实现半导体工艺设备中超纯气体的传输及多种气体的精准混合。原理:1.将厂务气体手动连接到气柜进气口，通过手动阀可以对进气气源进行手动关闭，通过调压阀手动对供应气体所需的压力进行调压。2.通过设备机台上的控制器对气体柜发出预设程序与参数，来控制外部氮气的通入和关闭，进而控制开启和关闭气动隔膜阀，以控制超洁净管路内部是否流动。3.气源经过手动预设调压及气动隔膜阀控制后，通过滤器过滤掉气体中的杂质后自动流出，再经过下一道的气动隔膜阀进入质量流量控制器，输出预设流量，以适当的压力、进入设备反应腔体。4.如设备工艺需要，也可以通过控制质量流量计后端气动隔膜阀，来实现多种气体混合，混合后输出预设流量比例，以适当的压力、进入设备反应腔体。5.气柜中没有混合气体的腔体，气体仅通过气柜的管路混合后，输送至其他半导体设备的反应腔体内。

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