归类预裁定R-2-2200-2024-0290
晶圆校准装置
归类编码（税则号列）
8479.8999
其他机器及机械器具 › 其他
- 类型
- 归类预裁定
- 编号
- R-2-2200-2024-0290
- 发布单位
- 上海海关
- 发布日期
- 未注明
- 英文名称
- Aligner
商品描述
品牌：Lam牌；型号：853-A64996-002；用途：适用于Lam牌干法刻蚀机，安装在刻蚀机的前端模块内部；结构：由电机（用于提供动力）、伺服驱动器（用于驱动电机）、电路板（用于处理光电传感器的信号并反馈给外部的控制器）、光电传感器（用于感应晶圆位置）、真空吸盘（用于固定晶圆）、管路、压力传感器、基座、外壳等组成；功能原理：晶圆校准装置通过真空吸盘固定住由外部机械臂搬运至此的晶圆，然后通过光电传感器检测晶圆上的凹口，内部电路板通过接收传感器信号、处理后反馈给外部的控制器（该控制器同时控制晶圆校准装置和机械臂工作），基于设定好的控制逻辑，控制校准装置内的伺服驱动器驱动电机旋转晶圆，使其凹口调整到指定角度位置后，再由外部的机械臂叉走，以保证所有晶圆均以同一个角度位置进行后续工艺；
归类意见
海关公开的预裁定信息只列商品描述与编码，不含归类理由。
8479.8999 在现行税则中
2026 年税则
- 第 84 章核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件
- 84.79本章其他税目未列名的具有独立功能的机器及机械器具
- 8479.8其他机器及机械器具
- 8479.89其他
- 8479.899其他
- 8479.8999其他
| 商品编码 | 商品名称 | 最惠国税率 | 普通税率 |
|---|---|---|---|
| 8479899910 | 用于光盘生产的金属母盘生产设备 | 0% | 30% |
| 8479899920 | 用于光盘生产的粘合机 | 0% | 30% |
| 8479899930 | 用于光盘生产的真空金属溅镀机 | 0% | 30% |
| 8479899940 | 保护胶涂覆机及染料层旋涂机 | 0% | 30% |
| 8479899952 | 生物反应器 | 0% | 30% |
| 8479899953 | 恒化器 | 0% | 30% |
| 8479899954 | 连续灌流系统 | 0% | 30% |
| 8479899955 | 三坐标或多坐标联动和程控的纤维缠绕机 | 0% | 30% |
| 8479899956 | 六面顶压机设备，具有以下所有特性：专门设计或制造的X/Y/Z三轴六面同步加压的大型液压机，缸径尺寸大于等于500毫米或设计使用压力大于等于5千兆帕。 | 0% | 30% |
| 8479899957 | 微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）设备，具有以下所有特性：专门设计或制造的MPCVD设备，微波功率在10千瓦以上，且微波频率为915兆赫或2450兆赫。 | 0% | 30% |
| 8479899959 | 其他两用物项管制机器及机械器具 | 0% | 30% |
| 8479899960 | 绕线机 | 0% | 30% |
| 8479899990 | 本章其他未列名机器及机械器具 | 0% | 30% |
申报要素规范申报要素 · 8479.899
- 1.用途
- 2.功能
- 3.品牌（中文或外文名称）
- 4.型号
以上为 2026 年税则中 8479.8999 的情况。裁定作出后税则可能已有调整，税率与申报要素以海关最新公布为准。