绝缘环

材质：熔融石英。半导体制造设备刻蚀机专用零件。安装在刻蚀工艺腔体环形基座底部，其腔体内会产生含有高能离子束电流（离子束电流就是离子定向运动形成的电流。即能够获得有效离子束的等效电流强度，用电流单位A或mA表示）。会对机台内金属部件带来损坏，也会击穿机台的电路而损坏机台，利用其熔融石英的高绝缘特性来隔离防护腔体内的金属部件不受高能离子束的影响。

海关公开的预裁定信息只列商品描述与编码，不含归类理由。