探针

供应商：柯岷国际贸易（上海）有限公司，品牌：HITACHI牌，品名：探针/Probe，型号：575-1315，材质构成：钨、铜。工作原理：此探针专用于半导体晶圆电参数检测设备“扫描电镜纳米探针测量仪”上，“扫描电镜纳米探针测量仪”设备型号NP6800，Hitachi牌，设备由扫描电镜模块、探针系统、测试系统等模块组成，设备主要功能为：通过扫描电镜模块确定半导体晶圆待测元器件位置，再配合纳米探针接触，输入特定电压测得输出电流，最后通过测试系统软件输出晶圆的电流-电压曲线图。此探针是安装在“扫描电镜纳米探针测量仪” 探针系统的针座上使用，安装前会使用工具弯针，然后插入到设备探针系统的针座（非本次进口）上，通过探针的针尖连接被测晶圆元器件的引脚部分与各个待测点接触；针座后端通过信号连接线与后端的测试模块连接。当设备通过扫描电镜模块确定半导体晶圆待测元器件的位置后，探针系统实时定位移动1-8支(最多)探针，使针尖与元器件各个待测点接触，再由设备的测试系统发出不同电压，经针座后端的信号连接线，通过探针输入至被测晶圆内，并通过探针将晶圆反馈回的各种电流、电压信号反向回传给设备的测试模块做数据分析处理。通过探针连接被测样品以及信号发生与收集器，以此来搜集被测样品的电信号，所以需要有良好的导电性，而探针针尖直径最小到20nm，为保证纳米探针在接触被测样品时，不容易发生弯折，需要探针有足够的硬度，因此探针针尖材质为钨，是因为钨针具有良好的导电性和高硬度，探针扎到样品时不弯折，而末端包裹的铜主要用于连接底座，改善钨针和针座的电接触。功能：探针直接接触被测晶圆待测的元器件上，起电压、电流传输的作用。用途：此探针安装在半导体晶圆电参数检测设备“扫描电镜纳米探针测量仪”上，起电压、电流传输的作用，配合晶圆性能相关的测试使用。工作电压：0～10V。

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