化学品供应柜

规格型号：U-1303型 结构组成：泵、气动阀、手动阀、调压阀、压力传感器、PVC箱体、PFA管件、电控单元（含可编程控制器）等组成； 功能：将液体化学品，通过泵抽取的方式以及对气动阀门进行控制从而实现液体的稳定输送； 用途：集成电路制造生产工艺专用；实现液体化学品的不间断供应； 工作原理： 在液体化学品输送的过程中，电控单元中的PLC（可编辑逻辑控制器）利用预设程序控制调压阀依照设定参数运行、气动阀门的开闭调配管路的液体输送，同时对压力传感器的信息反馈进行监控并自动依照预设参数进行偏差修正，实现液体化学品的安全稳定的输送； 详细原理如下： 1. 电控单元中的可编程控制器，在接收到生产设备端的液体化学品供应需求讯号后, 化学品供应柜通过泵抽取液体化学品，并开启相关的气动阀、手动阀； 2. 化学品将通过供应柜内部所配置不同管径的PFA管及阀件,并起分流作用,将化学品分别分配供应给制程端的设备使用； 3. 当化学品供应已经达到生产设备的要求后，会送一个停止供应的讯号到化学品供应柜，当可逻辑控制器接收到此讯号后，化学品供应柜将会自动关闭泵及关闭相关阀件，停止供应。

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