固体化学品供应柜

结构组成：电控组件(触屏，PLC（可编程逻辑控制器），变压器，PCB（印制电路板），电磁阀、加热组件（加热带，温度控制器）、输送组件（管路，气动阀，过滤器，调压阀，压力传感器，手阀）组成； 功能：将气化后的固态化学品，通过载气及压差的方式以及对气动阀门进行控制从而实现气体的稳定输送； 用途：专用于半导体制造生产工艺中；实现固态源的气化后的不间断供应； 工作原理： 在固态化学品的加热和气态化学品输送的过程中，电控组件中的PLC（可编辑逻辑控制器）利用预设程序控制调压阀依照设定参数运行、气动阀门的开闭调配管路的气体输送，同时对压力传感器、温度控制器的信息反馈进行监控并自动依照预设参数进行偏差修正，实现化学品的安全稳定的输送；同时用户可通过触摸屏掌握产品的运行状况以及调整运行参数。 详细原理如下： 1. 首先设备内部安装的装有固态粉末状化学品的钢瓶经钢瓶外包裹的加热带加热，钢瓶内固态粉末状化学品加热升华为气态；（进口时无钢瓶，后续安装使用） 2. 同时钢瓶进气口载气管路接入厂务端载气模块，载气模块持续向钢瓶内输入惰性气体，手阀会对载气模块输入产品的气体依照设备的安全气压参数进行固定数值的手动第一次调节； 3. 调压阀对输入钢瓶的气体流量进行第二次自动调节，持续保持钢瓶内安全、稳定的气体压力； 4. 钢瓶内的气化的固态化学品在气体压差的作用下通过钢瓶出气口经由管路输出至主机台；

海关公开的预裁定信息只列商品描述与编码，不含归类理由。