归类决定W2014-248
静电夹(ESC)
归类编码（子目）
8466.20
专用于或主要用于税目84.56至84.65所列机器的零件、附件，包括工件或工具的夹具、自启板牙切头、分度头及其他专用于机器的附件；各种手提工具的工具夹具
- 类型
- 归类决定
- 编号
- W2014-248
- 发布单位
- 海关总署
- 发布日期
- 未注明
- 英文名称
- Electrostatic chuck(ESC)
商品描述
由配有在聚酰亚胺层中夹有铜膜的铝基板构成，聚酰亚胺涂层起到保护铜膜免受等离子体干扰和防止电弧放电的作用。基板连接于阴极表面。该ESC基板依据使用的晶片类型可以为V型槽或扁平槽。贯穿ESC上下的氦通道分派氦通过晶片底部。氦流提高了从晶片到ESC基板的热传递。这可以帮助在晶片上阻止紫外线刻胶网眼，通过阴极到晶片底部的氦被重新使用。当一个等离子体激发了空腔，它将在晶片的背面产生电荷，那么一个正直流电压将作用在ESC的铜膜上。这导致相对于晶片背面的电荷的负极有一负电荷。相对的电荷吸引，在晶片和ESC之间形成静电键。这“夹紧”晶片，使晶片在背部存在氦压时保持在固定位置。该进程后，背部氦压减少、电压降低，允许等离子体驱散超量的静电荷。这“退去夹紧”晶片，在退去夹紧后，晶片准备移出空腔。
归类意见
子目号:8466.20。
8466.20 在现行税则中
2026 年税则
- 第 84 章核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件
- 84.66专用于或主要用于税目84.56至84.65所列机器的零件、附件，包括工件或工具的夹具、自启板牙切头、分度头及其他专用于机器的附件；各种手提工具的工具夹具
| 商品编码 | 商品名称 | 最惠国税率 | 普通税率 |
|---|---|---|---|
| 8466200010 | 专门设计用于燃气涡轮发动机/燃气轮机的高温合金、钛合金或金属间化合物等材料的盘片固态连接所需的工件夹具 | 7% | 17% |
| 8466200090 | 其他专用于或主要用于税目84.56至84.65所列机器的工件夹具 | 7% | 17% |
申报要素规范申报要素 · 84.66
- 1.用途（适用于××品牌××机或通用于××机等）
- 2.品牌（中文或外文名称）
- 3.型号
以上为 2026 年税则中 8466.20 的情况。裁定作出后税则可能已有调整，税率与申报要素以海关最新公布为准。