燃烧水洗式尾气处理设备

结构组成为由燃烧室、冷却水级、热交换器、循环水泵、可编程控制器、触摸式彩色液晶显示屏、排水泵、填料喷淋塔、机械刮刀由9部分构成，如上部件形成了一台机器。用途为主要用于太阳能电池，半导体，平板显示和LED 行业，处理相关工艺中产生的废气。功能：将可燃气体首先经过燃烧器产生高温，制程尾气进入燃烧室后反应生成易溶于水的酸性气体以及固体副产物，随后酸性气体和固体物质都被水冲洗进储水槽，从而使制程气体达到环保要求的排放气体标准。工作原理为操作人员在触摸式彩色液晶显示屏上设定设备的相关参数，通过可编程逻辑控制器控制废气处理设备的运转逻辑，尾气通过进气口管道进入燃烧室中，同时机械刮刀刮除燃烧室进气管底部生成、堆积的工艺副产物。燃烧室中为来自预混合风扇的空气和燃气的混合气体，通电启动设备的情况下，火花点火器和引燃器部件会点燃燃烧室中的气体，随后燃气和空气发生燃烧产生高温；在燃烧中，制程尾气通过高温区域时化学键会被破坏，形成容易溶于水的酸性气体和固体副产物，通过管道直接送入淬火壁的冷却水级冷却，并提供保护性堰板效用，以防止热气体腐蚀淬火壁。在冷却水级的此部分中，热气体会冷却至80摄氏度以下，随着气体冷却，水蒸汽易吸附在微粒杂质表面凝结，这些微粒杂质随后会滴落到淬火壁底部——储水槽。冷却的气体随后通过填料喷淋塔，在填料塔中，喷淋的水进一步将残余气体中的酸性气体去除，并流回到储水槽。此时的储水槽中的酸性水会通过循环水泵排出。其中无论是进喷淋塔中的水，还是冷却水级中的水，均经过热交换器冷却。清洁后的气流最后通过一个空气旋流器，进入排气口，排到使用端的厂务酸排系统。品牌为Edwards。

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