流量控制器

一、进口品名、型号、品牌及构成：品名：流量控制器 MASS FLOW CONTROLLER （电压：24VDC)，型号：SEC-N114 MGM，品牌：HORIBA，无中文品牌 产品构成：流量控制器属于气体流量测量部件，主要由流量传感器、分流器通道、控制电路板和流量控制阀等部件组成，为插入式类型的热式质量流量控制器(利用热学原理的恒温差).该流量计配置了信号处理单元，所有电子元件均封装在防火的外壳中，外部留有独立的接线盒及温度计供现场接线及检查温度使用，主要起测量和控制气体流量功能. 产品内部结构（结构图片详见随附情况说明）及气体流向：气体从接头入口处输入，并被分割，使它同时流过流量传感器和层流分流器管道，气体流量产生的热能通过传感器测量流量得出信号值，通过控制电路板（CPU）、转换器等接收、传输信号，驱动接收器触动控制阀调节流量流速后，将所需的气体通过管道出气口输送到下段工序的腔体里。 二、产品用途：流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光伏电池、LED、光纤等行业的气体流量测量与控制。此配件适用于我司的LPE型碳化硅外延炉，安装在整个密封防水的气柜面板里，一端连接调压阀，压力表，信号线及24V电，另一端输出设定好的流量流速气体到碳化硅生长炉中，起监测及控制炉中所需的气体流量流速作用. 三、检测对象：主要用于检测干燥的非爆炸性的气体，此配件主要适用于检测氮气的流量流速。 四、功能：流量控制器通过气体流速产生的恒温差法对气体流量进行测量和计量，达到对气体流量流速的控制。 五．原理：本流量控制器是利用气体流速产生热扩散原理来测量及监控气体流量，将传感器测得的流量信号与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制阀调节阀门闭合达成闭环回路，校正压力值让流量按设定值来修改流量，达成确保稳定的流量控制。 六、工作过程：“压力表”设定气体所需压力值→连通气体管道→管道连接“调压阀”调节管内气体流速→管道中气体从流量控制器的进气端进入→在电脑设置流量控制器运行所需相关数据：压差、流量控制器的流速数据等信息→通过“信号线”传输到流量控制器的电路控制板(CPU)→流量控制器中的传感器依据设定好的数据测量气体流速产生热能信号→测量信号传输给流量控器中的“数字转换器”将信号放大与设定的电压进行比较→通过“驱动接收器”接收传输信号后用所得的差值信号放大→“回路阀驱动器”驱动流量控制器中的控制阀调节修改

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