温度控制系统

主要结构：压缩机、冷凝器、膨胀阀、蒸发器、加热器、温度传感器；压缩机主要为将將低压气态冷媒压缩至高压，便于排热；冷凝器主要将將高压气态冷媒冷凝为液态；膨胀阀主要将液态冷媒降压同時降温，便於吸热；蒸发器主要将低温低压液态冷媒在此蒸发吸收热量并蒸发为气态；加热阀主要将用于冷媒的加热；温度传感器主要用于监测各环节冷却液和冷媒的温度；原理：当液态冷媒由蒸发器吸收冷却液传来的热，并蒸发变成气态冷媒，这些气态冷媒被压缩机吸入，如果温度传感器检测温度低于实际设置温度时，由加热器对冷媒进行加热并直接流转至蒸发器处，释放热量给冷却液；如果温度传感器检测温度高于实际设置温度时，气态冷媒经过压缩机加压后，变成高温高压的冷媒蒸气，这些冷媒被送到冷凝器，在此气态冷媒释放热量到厂务水(空气)排除并形成液态冷媒，这些液态冷媒经过膨胀阀，变成低温低压的液态冷媒，进入蒸发器中进行造冷工作。如此周而复始，完成一个循环控温的过程；功能：根据设定的温度，通过循环降温或升温，自动控制主机台腔体的固定溫度；用途：用于集成电路生产过程中腔体温度控制。

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