液体加热器套装

生产厂商：PROCESS TECHNOLOGY； 型号：TIH6-43X0BRR-L-S-08； LAM料号：857-171791-001； 组成结构：液体加热器（由聚四氟乙烯制的管型腔室、电阻式金属加热丝、温度传感器2个、漏液传感器、熔断器、工艺进出连接口、净化气体进出连接口及电缆2根组成）、9个塑料制的热缩保护套（长度2.5-7.5cm不等，保护电缆用；以7.5cm长、直径3.3cm的护套为例，见图10，其余保护套只是尺寸不同）和1份安装说明书，包装在一起并组成一个液体加热器套装；见图1、图2、图3； 管型腔室:作为加热器的结构外壳，容纳化学液体； 电阻式金属加热丝：作为加热器的加热软件，通电发热； 温度传感器2个：工艺超温传感器用于检测工艺液体的温度，超温传感器用于检测环境温度； 漏液传感器：用于检测加热器中是否有漏液； 熔断器：保护电路用； 工艺进出连接口：用于加热器工作时导通化学液体； 净化气体进出连接口：用于加热器维护时导通净化气体； 电缆2根：电源电缆用于连接电源，信号电缆用于连接后置的控制器（控制器不带）； 用途：用于Lam牌DVP型硅片清洗机（用在刻蚀工艺后、通过湿法工艺去除晶圆表面颗粒及残留物的半导体工艺设备）中的化学液体分配系统中，连接于液泵和循环储液箱之间，加热器本身还可连接后置的控制器（不进口，且未在图中画出），加热后的化学液体最终将用于晶圆表面清洗；见图5、图7；厂商的TIH系列液体加热器，可用于半导体湿法加工、灭菌/清洁以及太阳能/光伏晶圆清洁的过程中，见图6； 功能：加热流经腔室内的化学液体；最高可加热至100℃，见图8； 原理：腔室内的电阻式金属加热丝浸入在流经腔室的化学液体中，通电后对液体加热；见图4；

海关公开的预裁定信息只列商品描述与编码，不含归类理由。