归类预裁定R-2-3100-2025-0086
晶圆载盘
归类编码（税则号列）
6815.1900
碳纤维；非电气用的碳纤维制品；其他非电气用的石墨或其他碳精制品 › 其他
- 类型
- 归类预裁定
- 编号
- R-2-3100-2025-0086
- 发布单位
- 宁波海关
- 发布日期
- 未注明
- 英文名称
- Wafer Holder
商品描述
一. 名称: 晶圆载盘. 二.规格: 直径343.8mm, 厚度4.3mm的圆盘. 三.基本用途: 晶圆载盘是MOCVD外延设备中作为金属有机化学气相沉积MOCVD流程里至关重要的部件, 其主要作用是在MOCVD设备内精准定位和稳固承载晶圆，进行碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)的外延生长. 四. 材质成分和结构原理: 产品基材为人造等静压石墨，石墨密度1.85 g/cm3, 抗折强度60Mpa, 基材进行提纯后, 含碳量为99.999965%, 为了进一步增加其耐腐蚀性, 表面硬度和使用寿命, 再在表面用CVD法沉积碳化钽(TaC)涂层, 整体碳化钽(TaC)涂层厚度平均40um, 涂层碳化钽含量为99.99959%. 五. 加工方法: 1. 人造石墨基体经切割, 研磨, 开槽等处理后, 经过高温提纯进行纯化, 然后放入化学气相沉积CVD炉内, 按比例通入TaCl?蒸气, 碳源气体和载气, 气态反应物在基材表面吸附并发生化学反应, 生成TaC涂层, 沉积结束后, 关闭气源, 在惰性气体保护下缓慢冷却至室温. 2. 表面处理: 通过研磨, 抛光去除涂层表面的微小凸起或缺陷, 提高表面光洁度.
归类意见
海关公开的预裁定信息只列商品描述与编码，不含归类理由。
6815.1900 在现行税则中
2026 年税则
- 第 68 章石料、石膏、水泥、石棉、云母及类似材料的制品
- 68.15其他税目未列名的石制品及其他矿物制品（包括碳纤维及其制品和泥煤制品）
- 6815.1碳纤维；非电气用的碳纤维制品；其他非电气用的石墨或其他碳精制品
- 6815.1900其他
| 商品编码 | 商品名称 | 最惠国税率 | 普通税率 | 暂定税率 |
|---|---|---|---|---|
| 6815190010 | 砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅外延生产设备用石墨配件（金属含量≤5ppm） | 10% | 70% | 5% |
| 6815190020 | 高纯度（>99.9%）、高强度（抗折强度>30Mpa）、高密度（>1.73克/立方厘米）的人造石墨制品；天然鳞片石墨制品 | 10% | 70% | — |
| 6815190090 | 其他非电气用的石墨或其他碳精制品 | 10% | 70% | — |
申报要素规范申报要素 · 6815.1900
- 1.材质
- 2.品牌（中文或外文名称，无品牌请申报厂商）
以上为 2026 年税则中 6815.1900 的情况。裁定作出后税则可能已有调整，税率与申报要素以海关最新公布为准。