塞子

生产厂商：Lam； 料号：19-327042-00； 型号：19-327042-00； 材质：尼龙塑料制； 用途：专门设计用于Lam牌SPEED型化学气相沉积设备的WTS（晶圆传输系统）的真空传输腔体的结构安装孔，并制成了特定的尺寸和形状结构；见图1和图2； 功能：堵塞结构安装孔，起密封作用； Lam牌SPEED型化学气相沉积设备：专用于半导体集成电路制造，由晶圆传输系统及工艺模块（用于气相沉积工艺）组成，在加温条件下将反应腔室内混合相应气体所得到的薄膜沉积在晶圆表面；见图4； WTS晶圆传输系统：由装载台、人机界面、大气环境传输腔体、真空传输腔体、2个自动搬运机器人（分别用于大气环境和真空传输腔体中）、上载锁定模块组成；见图3； 真空传输腔体：一个结构型的腔体，通过和机台其他底座、外壳配合，组成一个密闭空间，安装于大气环境传输腔体和工艺模块之间，用作晶圆从大气环境到工艺模块真空环境的过渡空间，通过真空泵抽真空；结构见图2；安装位置见图3中间圆圈部分和图4箭头部分；

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